传感器:彩色共焦
**大测量频率:100HZ/300HZ
(1kHZ)
测量范围Z:300mm/1mm/2mm
**大行程XY:60mmⅹ60mm
解析度Z:12nm/25nm/75nm
速率:0.1 bis 10mm/s
侧向解析度:1.55mm/2mm/4mm
平台尺寸:165ⅹ165mm
测量长度:11mm/12.7mm/16.4mm
电脑,软件,显示器:LCD 17〞
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