原理及构造：　设备本身包含有本体、填充层、除雾层、循环洒水管路，及循环水槽等。　
　　
　　洗涤塔本体：　洗涤塔本体包含了废气入口、出口、视窗，维修入孔及洗涤塔内部用以支撑及固定用之结构，以确保设备本身之耐蚀性增加其使用寿命。
　　
　　填充层：　采用TELLERETTE　TYPE　K-2＃型式之填充材，作为洗涤塔填充材，其材质为PP／PVC。　TELLERETTE　TYPE　K-2＃型式之填充材具有比表面积大，低压损，及物质移转高度低等特性，相较于其他型之填充材选择使用TELLERETTE有较高之处理效率及较低之运行费用。　
　　
　　除雾层：　采用TELLERETTE　TYPE　K-2＃型式之填充材作为除雾器材质为PP／PVC，或者选用告诉除雾板作为除雾器，其材质为PP／PVC，以上二种型式之除雾器其水气之去除率均可达99％。
　　
　　循环洒水管路：　管路材质为PP／PVC，主要功能是用来将循环水送至洒水系统，而洒水系统所使用之喷嘴采用BETE　FULL　CONE型式之喷嘴，此种喷嘴具有不易堵塞、喷洒角度大，且液滴分布均匀特色，使洗涤塔能发挥**之处理效果。
　　
　　循环水槽：　循环水槽与洗涤塔本体是一体的，水槽之容量为2-3分钟之循环水量，水槽内部设有浮球式液位控制器，并预留有洗涤水之入口溢流口及排放水口。　
　　
　　适用对象：电子工业、半导体制造业、PCB制造业、LCD制造业、钢铁金属工业、电镀及金属表面处理工业、酸洗制程、染料／制药／化学工业、除臭／氯气中和、燃烧废气SOx／NOx之去掉、其他水溶性空气污染物之处理　
　　
　　立式洗涤塔标准配备：视窗及维修人孔、入风口法兰、出口法兰、洗涤液入口、溢流口　排水口、Tellerette　k-2填充材、Tllerette　R-2填充材、循环水泵浦、循环水过滤网、循环水管路、洒水喷嘴

1.3水洗式洗涤系统是由数套水平交叉流式洗涤塔并联运转而成，期以维持固定抽气静压。每套洗涤塔，包括洗涤器、风机、循环帮浦、洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱、监测仪器和所有其它必须的控制仪表板等，用来建立功能设施以满足本厂需求的辅助设备。

1.4水洗式洗涤系统各项设备与制程酸、碱废气接触部份，以抗紫外线PP或抗紫外线FRP材质制作。

1.5该洗涤系统设备的构造设计和材质选择，须与废气中酸、碱性物质兼容且适合在所选择的化学药品下操作，包括清洗中和作用后所产生的副产品。

1.6该洗涤系统设备的构造设计、材质选择和安装，须能承受现场外在自然或人为环境，对设备所产生的危害及运转操作上的危害，设置安全保护装置并加以说套。

1.7该系统所有的设备和材料，包括洗涤塔、风机、帮浦、洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱、监测仪器、FMS及PLC控制系统和所有其它必须的控制仪表板等，承包商必须以一套完整的套件方式供应。

1.9提供洗涤效率计算书，药品消耗计算书，噪音计算书，水量计算书，载重计算书，单台风车性能及并联曲线图，洗涤塔总压损计算书及相关曲线图，湿润因子，填充段空塔滞流时间，填充物比表面积，安全 INTERLOCK 保护装置或控制逻辑图，控制点数表及其它业主要求认可之第三者认证单位证明文件。

1.11水洗式洗涤系统各项设备须安装于一共同水泥基础座上，基础座含于本工程范围内。其结构强度除负荷设备重量外，尚须注意震动、楼板负荷、系统排水。

2、 洗涤塔

2.1本洗涤塔必须是水平交叉流式。设计通过填充层垂直断面气体流速：须在 2.5m/s 以下。去除效率或排放消减率：须在 95% 以上。洗涤塔进出口间压损：须在 500pa 以下。洗涤塔进出口间，设置电子式差压计，提供模拟Alarm讯息。

2.2洗涤塔必须具有整体的集液箱，来收集所清洗的液体做再循环使用,并设置4点式液位检测器。

2.3所有内部湿的螺栓和外部的螺栓与扣件包括锚定螺栓和凸缘螺栓必须是由不锈钢制成。所有和脏空气接触的表面，必须能够抵抗所使用化学物品的侵蚀。

2.4洗涤塔必须能在所设计的气体流动率和系统压力下操作。洗涤塔外壳、洗涤塔入口关断风门、风机出口止回风门、烟囱和所有的内部结构组件必须是以**小厚度8mm 制作，并具有足够的维修孔及窗口以供所有内部零件之检查、拆卸和保养。对受压和真空条件下的部位，必须于内部装设加强肋条。构件必须有足够的机械强度，来承受静态和动态的负荷。

2.5每一洗涤塔组件必须装设有数组循环泵浦，一组当作备份件。泵浦组必须是垂直、无轴封、单吸入离心式泵浦，马达座于集液箱上部，泵浦沉入水中。泵浦外壳、叶轮和轴的套筒必须是坚固的FRP。叶轮轴必须由不锈钢制成。并且必须在每一泵浦装设附属设备如压力表、关断和止回阀、电子式流量指示计和配管等。承包商必须对所选择泵浦、配管等承担责任，适合所处理之化学物品，并提供足够的泵浦水头弥补配管和洗涤设备之摩擦损失。泵浦及配管支撑必须有足够的机械强度，来承受静态和动态的负荷。

2.6洗涤塔液体分配系统必须是喷雾式。喷雾式喷嘴组必须是完全的近似方锥状120°角度喷洒，高速流动型。该喷嘴必须安装成使其能在正常的操作下，喷雾能够覆盖完整的区域。组件必须包括内部喷雾配管和喷嘴。任一喷嘴必须可独立取出清洁。所有的配管必须是防腐蚀型式。

2.7每一洗涤塔内部须装置一组水雾或微粒去除组件。此去除组件位于填充层和洗涤塔出口间，为具备适当间隔数量之叶片，用来去除气体所挟带的水雾或微粒。叶片必须由 FRP 或 PVC 制成。水雾或微粒粒径15micron以上,去除效率须在90%以上。

2.8每个洗涤塔旁须装置户外型仪表盘，以容纳洗涤塔操作必须的相关仪表，风机及循环泵浦的紧急停止开关，并作为接线中站。