l 可采用喷淋清洗、超声波清洗、浸泡清洗、刷洗等方法
l 能彻底清除硅片经切割加工后，表面残留下的切削液、研磨粉、黏结胶、抛光粉、硅粉、微粒、灰尘、金属离子等杂质，不会破坏硅片表面光泽，有利于下一步制绒工序
l 能有效清除硅片表面水锈
l 对被清洗的硅片及清洗设备不会产生腐蚀不会产生影响操作持续进行的泡沫，即使加热也可照常进
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