型号
真空室尺寸
|
ZZ-1200
|
ZZ-1400
|
ZZ-1600
|
ZZ1800
|
¢1200×1600MM
|
¢1200×2000MM
|
¢1600×2000MM
|
¢1800×2000MM
|
|
制膜种类
|
半透明膜、不导电膜、金、银、红、蓝、绿、紫、七彩等
|
|||
电源类型
|
电阻蒸发电源、离子轰击电源、射频电源
|
|||
溅射及电极结构
|
圆柱磁控靶、平面矩形靶、孪生靶、蒸发电极
|
|||
真空室结构
|
立式双开门、立式单开门、卧式单开门、后置抽气系统
|
|||
极限真空
|
2.0×10-3PA
|
|||
真空系统组成
|
扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵
|
|||
抽气时间
|
从大气抽至5.0×10-2PA,小于或等于6分钟
|
|||
工件运动方式
|
公自转/变频调速
|
|||
控制方式
|
手动/自动一体化式,触摸屏+PLC
|
|||
备注
|
以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做
|
Tel:
Tel:
Tel:
Tel: