L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统
该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。
1、系统组成：a）扩散炉主机 b）推拉舟及层流净化台 c）气源柜 d）排毒柜 e）微机控制柜
2、扩散炉管数：1～4管/台
3、炉管内径：φ90㎜×240mm
4、恒温区长度：≤600mm±1℃（300～800℃） ≤600mm±0.5℃（800～1250℃）
5、单点稳定性：±1℃/24h（300～800℃）
±0.5℃/24h（800～1250℃）
6、气源路数：≤6路
8、推拉舟行程：**大1500mm
9、推拉舟速度范围及精度：（1～1000）± 3mm/min
10、推拉舟位置控制精度：≤3mm
11、冷却方式：水冷＋风冷
12、微控部分采用STD总线功能模板
a）主CPU板：8031＋32ROM＋8KRAM＋总线接口部件
b）信号调理板：完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换
c）人机界面板：接收键入信息管理，并配置9”液晶显示
d）推拉舟接口板：输出推拉舟速度值，完成舟位置检测，输出推拉舟的运动指令
e）MFC接口板：输出MFC设定值，将MFC的流量信息采入计算机
f）可控硅控制及形状量输出板：完成与可控硅触发及
开关量放大
驱动器接口等功能
i）可控硅触发板：完成可控硅的过零触发或移相触发驱动（非STD总线板）
j）开关量驱动板：完成由STD总线板的数字信号（TTL电平）的转换、放大，用于驱动气路阀（非总线板）
k）推拉舟驱动部分：接收总线板输出的推拉舟速状态指令，并将位置转换成标准信号输出，有手动自动转换
13、微机控制特点：
a）工艺温度段数：1～14段，可选段运行
b）单段时间范围：1～1080分钟/斜变段
1～9999分钟/恒温段
c）三个温度测控回路独立修正温度测量值
d）三个温度测控点独立修正温度测量值
e）PID参数，温度修正量可在线修改
f）温度设定单位：℃ 分辨率：0.1℃
g）工艺段时间设定单位：min，分辨率：1min
h）各类工艺数据断电后长期保存
i）工艺气体流量，推拉舟运动状态由微机实行闭环控制 j）中文显示各类提示信息
k）各类输入信息采用填表方式完成，条例清楚，逻辑合理
