基本技术规格一览：
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可检测气体 |
氦气 |
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检测模式 |
吸枪式+喷枪式，可以切换使用 |
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检出范围 |
5个数量级 |
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**小可检漏量 |
1.0×10-8Pa?m3/s或1.0×10-7mba?l/s |
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**大可检漏量 |
1.0×10-3Pa?m3/s或1.0×10-2mba?l/s |
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**小可检浓度 |
He：0.1ppm |
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传感器反应时间 |
450msec |
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包括吸枪管线 |
1sec以下 |
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漏率单位 |
Pa?m3/s或mba?l/s或Torr.l/s或SCCM或atm.cc/s或Mol/s或lusec |
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启动时间 |
3分钟以内 |
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界面语言 |
中文简体/繁体、英文、日文、韩文、德文 |
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吸枪流量 |
1000SCCM |
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吸枪功能 |
SET,报警，LED显示 |
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校准功能 |
内部校准漏孔+外部手动校准漏孔 |
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校正模式 |
3种校正模式（流量、浓度、大气） |
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微渗漏器 |
有 |
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流量监视 |
有 |
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真空排气前级泵 |
油旋片泵30L/min |
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真空排气主泵 |
复合分子泵25L/sec |
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真空计 |
皮拉尼真空计WP-01、GP-H |
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测试口 |
NW25 |
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启动/停止时间 |
约3分钟（免校正模式设定时） |
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使用温度范围 |
10-40℃ |
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漏率表示 |
图表、线性、数字、指针 |
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测试模式 |
自动模式、微漏模式、中漏模式、大漏模式、超微漏模式、吸枪模式等 |
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阀门操作 |
全自动操作与控制 |
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灵敏度 |
校正机器启动时，自动校正。 |
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归零调整 |
自动复零功能 |
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信息报告 |
操作方法、故障信息等通过彩色触摸屏显示（文字和图像）及声音报告。 |
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尺寸 |
480×335×570（吸枪高度70mm） |
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重量 |
约45Kg（吸枪重量：2.0Kg） |
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输入电压 |
AC200-220V |
优点：
1.搭载「自由流量选择」专利排气系统。(专利号：2655315）
2.具有校正漏孔的温度、衰减补正功能。（专利号：4057896）
3.机器待机时，前级泵间歇运转的省电功能。（专利号：3947059）
4.对震动.温度监视通知功能。 （专利号：4057896）
5.配备7.5英寸大型彩色触摸屏，操作手段简単，操作过程便于识别。
5-1.搭载6种语言（中文简体/繁体、英文、日文、韩文、德文）等，可根据使用情况，自由选择切换。
5-2.机器启动后自动校正过程显示，校正模式可根据具体情况自由选择。
5-2-1.全部校正包含环境温度、排气系统、离子源、灵敏度等项目。
5-2-2.部分校正可根据情况自由选择。
5-5-3.免校正情况下，进入快速启动模式，3分钟内即可启动。
5-3.校正完毕，一切正常后，语音提示进入测试状态。
4种测试画面（线性、数字、模拟、排气系统图）可自由选择。
5-4.故障履历显示与数据保存搜索功能。
5-5.定期维修信息通知（文字和中文声音提示）。
维修项目、维修顺序、维修网点与联系方式的画面显示。
5-6.I/O核对画面显示。
5-7.机器停止时，TMP（复合分子泵）完全停止确认通知功能。
5-8.设定菜单保存与下载Save&Load。
5-9.可设定密码登录，加强机器安全保护。
6.自动循环测试与时间设定功能，测试数据自动保存，可打印下载。
7.从启动校正-测试-测试完成均为自动控制。
8.起动时灵敏度核对功能，启动后再校正功能。
9.放大器的主板为两块主板，加强了对高温多湿环境的抗干扰能力。
