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- 四氟甲烷 R14 CF4 CAS号 75-73-0 物理性质： 分子式 CF4 分子量 88.01 相对密度（水=1）
1.61(-130℃) 熔点℃ -183.6 沸点℃ -128.0 蒸气压 （kPa）(-150.7℃) 13.33 临界温度℃
-45.5 临界压力（MPa） 3.74 溶解性 不溶于水 质量指标： 四氟甲烷 质 量 指 标 指 标 名 称 指 标
含量，%(v/v) ≥ 99.995 99.99 99.90 氮气，%(v/v) ≤ 0.002 0.004 0.035
氧气，%(v/v) ≤ 0.001 0.002 0.035 一氧化碳，%(v/v) ≤ 0.001 0.001 0.002
二氧化碳，%(v/v) ≤ 0.001 0.002 0.008 水份，（mg/g） ≤ 2.0 3.0 5.0 酸度，（mg/g） ≤
0.1 0.1 0.1 总杂质含量（ppmv） ≤ 50 100 1000 用 途
用于微电子工业的等离子蚀刻剂，电子清洗，冶金，低温制冷剂，合成橡胶。 包装： 钢瓶(14Mpa)（DOT-3AA GB-5099）
阀门（CGA-580/590,QF-2） 32KG/48.8L 30KG/43.3L 205KG/4L 储运： 危险性类别
第2.2类不燃气体，储存于阴凉干燥处。
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