日本新宇宙 XP-703D 半导体特气检漏仪
特点：
**适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
规格
型 号
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度
（单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
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