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活性碳吸附法系利用高性能活性碳吸附剂(adsorbent) 固体本身的表面作用力，将VOC分子之吸附质(adsorbate)吸引附着在吸附剂表面，以达到去除VOC物质之目的。活性碳吸附法在低浓度VOC条件下，可以理想地去除废气中挥发性有机物，同时有有较佳的经济效益。故在空气污染物控制方面，特别适用处理含低浓度VOC之废气，例如半导体厂、LCD厂、PCB厂与相关电子厂等。依照吸附剂与吸附物质问吸引力的不同，吸附法之机制包括有藉由物质间凡得瓦尔力作用之物理吸附及利用产生化学键结合之化学作用。其中物理作用为一可逆现象，常被用来由改变压力或温度破坏此平衡，以再生吸附剂并回收吸附物质，例如蒸气再生、化学氧化再生、微波再生等；化学作用为高放热反应且通常为不可逆反应。吸附剂的种类众多，但以活性碳较常被采用，主要是因为活性碳对某些VOC之物理吸附效果良好、回收再生容易，而且价格便宜;至于其它吸附剂，如硅胶、硅藻土、活性氧化铝或合成沸石，则对VOC之吸附选择性较高，因此需配合废气污染物之特性，选用适合之吸附剂