单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
1,本系列单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
2,本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显 示出工作温度,直观易读。
3,工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温;能自动切断电源,保护设备和产品。
4,该设备具有超温报警,恒温计时功能。
■ 单晶硅烘箱箱体结构:
设计**,箱体采用数控机床加工成型,箱门采用双开式,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保烘箱的密闭性。
■ 单晶硅烘箱控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表; Pt100铂电阻测温传感器;
■ 单晶硅烘箱保护系统: 整机保护系统由超温保护及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。
规格型号 |
工作室尺寸(mm)长×宽×高 |
温 度 ℃ |
HDJ-1 |
350×450×450 |
250 |
HDJ -2 |
450×550×550 |
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HDJ -3 |
500×600×750 |
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HDJ -4 |
800×800×1000 |
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HDJ -5 |
800×1000×1000 |
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HDJ -6 |
1000×1200×1200 |
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HDJ -7 |
1000×1200×1500 |
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HDJ -8 |
1200×1500×1800 |
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HDJ -9 |
1500×1800×2000 |
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HDJ -10 |
1800×2000×2000 |
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HDJ -11 |
2000×2000×2000 |
Tel:
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