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ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率，是一款非接触式高精度光学位移传感器。 其起始测量距离为3mm，对于被测体有较宽的适用范围，比如金属，半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合，而且具有较大的基准距，其测量精度 实际相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量，振动测量，表面轮廓测量，ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。 |
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应用领域 |
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应用于光盘、硬盘的在线检测，还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。 |
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