臭氧发生器是用于制取臭氧的设备装置。臭氧易于分解无法储存需现场制取现场使用（但是在特殊的情况下是可以进行短暂时间的储存），凡是能用到臭氧的场所均需使用臭氧发生器。臭氧发生器在自来水，污水，工业氧化，空间灭菌等领域广泛应用。
臭氧是世界公认的广谱高效杀菌消毒剂。采用空气或氧气为原料利用高频高压放电产生臭氧。臭氧比氧分子多了一活泼的氧原子臭氧，化学性质特别活泼，是一种强氧化剂，在一定浓度下可迅速杀灭空气、液体中的细菌。没有任何有毒残留，不会形成二次污染，被誉为"**清洁的氧化剂和消毒剂"。
其反应的化学方程式为3O2====2O3
臭氧发生器常用的气源大体可分为下列几种：
1）
干燥空气气源--无油的压缩空气经过冷却、干燥、过滤处理后作为原料气使用；
2）富氧气源--无油压缩空气经过冷干处理送入PSA空分系统将氮气和氧气分离，并将氧气收集作为
原料气（此原料气含有惰性气体和二氧化碳及少量氮气，并非纯氧气所以称为富氧源）；
3）工业氧气源--通常使用瓶装工业氧气（大多适用于小型臭氧发生器）；
4）液氧--液态氧经过汽化器汽化减压后送入臭氧发生器作为原料气（常用于大型臭氧发生器）。
