性能指标

PR02/PD03

MR15和MD30

性能

前级泵内置式

前级泵外置式及小车

前级泵油式机械泵

DS-42，2 m3/hr (34 l/m)

DS-302，14 m3/hr (232 l/m)

涡卷式干泵

干泵-2 m3/hr (34 l/m)

TS-620 30 m3/hr (500 l/m)

**小可检漏率在1000ppm的氦气背景下

5×10^-12 atm cc/sec；5×10^-12 mbar l/s；5×10^-13Pa m3/sec ，氦气

测试口**高耐压

13 mbar，10 Torr，1330 Pa

测试口处对氦气抽速

1.8 l/s

校准

自动或手动（内置或外置）

氦本底清零

按键清零，并具有零点追踪功能

操作界面

高清晰彩显，TFT触摸屏

语言选择

中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语

循环检测

可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点

响应时间

＜0.5秒

设定点

标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点

通讯协议

RS-232 通讯接口，9600波特率（9芯串口）

执行标准

UL，CE，CSA

无限远程控制(选件)

2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA电池/5VDC电源