用于用户碳化硅基板的烧成。
2.1.1 按用户工艺要求，详见工艺曲线。
3.1.1主要尺寸
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炉膛尺寸 |
长×宽×高：13000×850×235mm |
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炉口尺寸 |
宽×高：810×235mm（双炉膛） |
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推板尺寸 |
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垫板尺寸： |
230W×160L×15H (自备) |
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码放高度： |
185mm |
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码放方式 |
5块×3层（每块推板双排） |
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炉体外形尺寸 |
（长×宽×高）：约16230×2950×1600mm（参考） |
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温度控制柜 |
（厚×宽×高）：600×1300×2000m，mGGD标柜，1台；（厚×宽×高）：600×600×2000m，GGD标柜，1台 |
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