适用于：2-6寸晶圆刻蚀清洗

产品规格

控制模式：半自动控制（工件搬运为手动操作，工艺参数控制过程为自动）

总体规格： 1400mm(L)×1000mm(W)×2000mm(H)

工件：2-6寸晶圆

产能：25片/槽 可按客户产能需求设计

电源：380V，50HZ,2KW

纯水：CL-PVC 进口DN25 管径，0.2～0.3 MPa 压力，用量MAX:2m3/h

抽风口：φ200*1 抽风量MAX: 700m3/h ,风量口装有蝶阀，可手动调节

CDA: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:0.5m3/h

N2: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:2m3/h

设备特点：

1. LED清洗设备骨架为SUS304外包3mmPP，外壳采用德国进口PP-W板焊接；

2. LED清洗设备采用 “PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制；

3. LED清洗设备槽体设置温度、液位监控装置；

4. LED清洗设备的药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染；

5.LED清洗设备清洗区域配有高效过滤器，无二次污染机会；

6.LED清洗设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护，防腐防水；

7.LED清洗设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；

8.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点；

9.LED清洗设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；