产品介绍设备特点： 1.
设备骨架为SUS304外包3mmPP，外壳采用德国进口PP-W板焊接； 2.
采用10.4英寸“PROFACE”
触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制； 3. 槽体设置温度、液位监控装置； 4.
药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染； 5.清洗区域配有
高效过滤器，无二次污染机会； 6.设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE
管进行保护，防腐
防水； 7.设备底部安装3mm 厚PP 防漏
托盘，有效防止设备漏液损害厂务
地板；
8.用户操作人员上料后，全过程
自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点；
9.设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；
产品属性适用于：2-6寸硅片清洗 产品规格 控制模式：半自动控制（工件搬运为手动操作，工艺参
数控制过程为自动）
总体规格： 1200mm(L)×1100mm(W)×2000mm(H) 工件：2-6寸硅片 产能：25片/槽 按客户产能需求设计
电源：380V，50HZ,2KW
其他说明纯水：CL-PVC 进口DN25
管径，0.2～0.3 MPa 压力，用量MAX:2m3/h 抽风口：φ200*1 抽风量MAX:700m3/h
,风量口装有
蝶阀，可手动调节 CDA: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:0.5m3/h N2:
0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:2m3/h
交易说明**少交易数量：1套 交易价格：面议
