振华真空生产的ZCK系列磁控溅射镀膜机可应用于建材行业,其工作原理是在真空状态下,使用弧光放电和辉光放电的工作原理。在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛,黑色碳化钛,七彩的氮氧化钛等。亦可镀防腐蚀膜(如AL,Cr不锈钢及TiN等)和耐磨膜,膜层与基底结合牢固,利用溅射工艺进行镀膜,可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。
ZCK-1800主要技术性能
1)镀膜室尺寸:1800*1950
2)真空系统:油扩散泵两台,升滑阀泵一台,升罗茨泵一台,升维持泵一台
3)极限真空:5*10-4pa
4)抽气时间:从大气抽至5*10-3pa小于20分钟(空载)
5)压升率小于等于0.7pa/小时
6)磁控溅射圆柱靶:40A*600 100KW
7)工件转架:6/8轴公自转,轴长1700
8)充气方式:一路质量流量控制
9)设备总功率:平均150KW **大170KW,短时3分钟
10)设备总重量:约10T
11)设备总占地面积:20M2
12)使用220V/380V电压
13)用于冷却的水亦以软水为宜,水压为2kg/cm2
14)气源4-6kg/cm2,选用0.1立方的压缩机为宜
结构说明:
本机由全碳钢焊接成形。机组配置为扩散泵两台,罗茨泵一台,升滑阀泵一台和升维持泵一台。2个圆柱靶,工件为6/8轴装夹方式,阀门控制为拨动控制。
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