iSPEDX-150WT 采用非真空样品腔;
多镀层,1~4层
测试精度:0.01 um
多次测量重复性误差<0.1%
元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
测量时间:10-60秒
微焦X射线管50KV/1mA,钨靶,
焦斑尺寸 75um, 寿命大于3万小时
7个准直器及6个滤光片自动切换
XYZ三维移动平台,**大荷载为5公斤
多变量非线性去卷积曲线拟合
高性能FP/MLSQ分析
平台尺寸 700x580x25 mm
平台移动范围 300(X)x300(Y)x25 (Z)mm
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