节能环保/class100/温度300度晶圆封装**热风循环无尘烘箱

一、双层无尘烘箱产品概述:

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

二、双层无尘烘箱主要技术指标：

2.1产品型号：COL-2D(双箱)

2.2无尘等级：Class 100;

2.3温度范围：+60～+300℃；

2.4升温速度：常温～+200℃,升温速度>6℃/min  ,降温速度3℃/min(适用于150℃～80℃);

2.5温度均匀度：±2.5℃;（空载）

2.6温度精确度：±1℃（空载）

2.7工作室尺寸：W700×H500×D600

2.8电    源：380v , 50Hz

2.9环境条件：温度5～40℃；湿度 ≤85%R.H

2.10气压：86～106Kpa

三、双层无尘烘箱箱体结构：

3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；

3.2全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

3.3箱体材料：SUS304#不锈钢板；

3.4内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE；

3.5中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。

3.6 保温材料：采用正厂中央玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造。

3.7电热器：采进口覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。

3.8洁净度：烤箱内部均采无尘化配件及材料。

四、双层无尘烘箱工作室的气流设计：

4.1 采平面水平由左向右送风后经美国进口H.E.P.A (特殊风道设计)，过滤效率99.99%，Class 100；

4.2 排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温，排风加冷阱。

4.3进气口：加附Ｎ２流量计控制进气量。入气口：8mm

4.4 压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS 10，净化气体流量：300L/分钟。

五、双层无尘烘箱先进可靠的测控系统

5.1控制器采用台湾CAHO多段式微电脑温度控制器，具有PID控制参数自动整定功能。

仪表特点: A. 具有温度PID调节功能

B. 采用数字显示箱内温度与多段式程控设定温度

C. 采用锴装铂电阻输入；

5.2六通道有纸记录仪（品牌为日本大仓））

5.3运行方式：恒定运行；

5.4 温度测量：采用特制锴装铂电阻；

5.5设定精度： 温度：0.1℃；

5.6温控输出：SSR输出

六、双层无尘烘箱完善的安全保护措施：

6.1 漏电保护

6.2 过热保护报警

6.3 电机保护报警

6.4 门锁，工作时门自动锁

6.5异常显示(红色警示灯)

节能环保/class100/温度300度晶圆封装**热风循环无尘烘箱