LS152真空镀膜在线测厚仪
使用说明书V1.0
镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度(光密度= LOG(1/透过率))和镀层厚度成正比例关系,镀层厚度越厚,光密度值越大,透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。
真空镀膜在线镀层厚度检测装置,适用于各类镀膜生产线上,通过选择监控产品的可见光透过率,红外线透过率和光密度值(OD),来达到在线检测和分析产品镀层厚度,镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产品质量,如有问题,及早发现及调整工艺,提高产品品质,降低产品的废品率。
此仪器提供双路的RS485通讯接口,标准的MODBUS通讯协议,方便和PLC,单片机,人机界面,组态王,电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据,实现控制自动化(闭环控制)。
1.测试波长:根据客户需要选择,目前有如下的选择:
l 红外线:850 nm(默认选项,抗干扰能力强)
l 可见光:白光380nm-760nm
l 绿光: 530nm
2.透过率测量精度:优于±1%
3.透过率分辨率:0.005%;
4.光密度测量范围:0.00 OD --- 5.00 OD
5.光密度的分辨率:
0.01 for 0.00 - 3.00 OD
0.05 for 3.00 - 5.00 OD
6.**大测量点数:36点
7.相邻探测头之间距离:**小70mm
8.发射接收探头之间距离:20mm
9.温度范围: -20°C --- +70°C
10.数据刷新周期:300ms
11.仪器整体尺寸:100mm(宽)*230mm(高)* 长度(根据客户要求定制)
12.需真空法兰电极芯数:6根(不配电脑监控),9根(配电脑监控)
13.电源:220V AC/50Hz
14.通讯:双路RS485
1. 一体化设计,结构简单,现场安装维护方便
2. 防尘设计
对于镀膜过程中的粉尘(如镀铝过程)会影响测量光学系统,该系统采用防尘设计,粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘,只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可,方便维护。
3. 真空室的电子设计
真空环境中,和大气环境下有众多的区别,经过多次真空试验和现场应用,成功解决真空中电子器件的稳定性问题。
1:设备分为三部分:探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统。
l 探测系统
主要包括光源,接收器,控制器和支架(测试点的多少,根据用户要求定制,测试点数一般是3的整数倍,如3、6、9、12、15等)。
l 人机交互设备
7寸LCD人机交互界面,显示各个测试点的透过率和光密度数据。实时数据,柱状图显示方式,上下限,基准值设置及显示,越限声音报警。
l 电脑实时监控系统(选配)
所有测试点数据的实时监控。包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线,越限报警等。透光率与光密度的显示可自由切换。
历史数据存储,分析和报表功能。整卷膜在其对应长度上,都有数据记录和分析。如果已知镀膜机的运行速度,可以出报表分析整卷膜在对应长度的光学指标,做到整卷膜镀层厚度和均匀性可追溯。
2:真空镀膜在线测厚仪示意图。
此设备可以实现和PC,人机界面,PLC,单片机,镀膜机控系统通讯,实现监视和控制。
3:在线测厚仪的结构图
以下是三个测试点的在线测试仪器的结构图,测试点不同,只是在长度方向上有所不同,高度和宽度方向没有变化。
4:真空镀膜在线测厚仪现场安装图
1:设备所用国标电线说明
电源线型号:RVV 3*0.75 mm2 三芯非屏蔽 挤黑
内芯颜色:
棕色(红色) : 直流电正极
蓝色(黑色): 直流电负极
黄色 : 接地线
通讯线型号:RVVSP 2*0.5mm2 屏蔽双绞线 挤黑
内芯颜色:
棕色 : RS485+
蓝色 : RS485-
屏蔽层 : 接地
2:开机自校准
仪器具有开机自动校准的功能,设备开机时,发射接收探头之间不能放入任何东西。否则不能完成自校准,测试数据出现不准确或错误。如果已经装好了膜,在膜上,发射接收器的对应位置,开一个孔,让发射光无阻挡通过,也可完成自动校准的功能。
LS152现场安装图
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