压力传感器 压力传感器是工业实习、
仪器仪表操控中**为常用的一种传感器，并广泛使用于各种工业自控环境，触及水利水电、铁路交通、出产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船只、机床、管道等很多职业。 力学传感器的品种繁复，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但使用**为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的报价和较高的精度以及较好的线性特性。下面咱们首要介绍这类传感器。 1、压阻式压力传感器原理与使用： 压阻式压力传感器是使用单晶硅资料的压阻效应和集成电路技能制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和能够转变为力的改变的其他物理量（如液位、加速度、分量、应变、流量、真空度）的丈量和操控。 压阻效应 当力作用于硅
晶体时，晶体的晶格发生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,导致载流子的迁移率发生改变，扰动了载流子纵向和横向的均匀量，从而使硅的电阻率发生改变。这种改变随晶体的取向不一样而异，因而硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不一样于
金属应变计，前者电阻随压力的改变首要取决于电阻率的改变，后者电阻的改变则首要取决于几许尺度的改变（应变），并且前者的灵敏度比后者大50～100倍。 压阻式压力传感器布局 压阻式压力传感器选用集成技术将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极
引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不一样于张贴式应变计需经过弹性灵敏元件直接感触外力，而是直接经过硅膜片感触被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片通常规划成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。在圆形硅膜片(N型)定域分散4条P杂质电阻条,并接满足桥，其间两条坐落压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称。硅柱形灵敏元件也是在硅柱面某一晶面的必定方向上分散制造电阻条 ，两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构满足桥。
