目前的臭氧发生器主要有三种：高压放电式、紫外线照射式、电解式。

    高压放电法就是一种干燥的含氧气体流过电晕放电区产生臭氧的方法。常用的原料气体有：氧气、空气以及含有氮、二氧化碳，或许还有气体惰性稀释气体的含氧混合气体。活氧利用空气中的氧气产生的，消毒氧化过程中，多余的氧原子(O)在30分钟后又结合成为分子氧(O2)，不存在任何残留物质，解决了消毒剂消毒时，残留物的二次污染问题，同时省去了消毒结束后的再次清洁。

    臭氧发生器通过电学原理产生高压；第二，高压达到一定程度以后空气被击穿，空气中的分子被电离。其中 的氧气分子被电离后产生由三个氧原子结合而成的臭氧分子。所以一般人们也把臭氧发生器称为“负氧离子发生器”。

    臭氧不稳定，很容易发生简单的氧化反应失去一个氧原子，也会发生一种叫做克里基机制的反应，这种反应中3个氧原子都要被用到。在大多数无机反应中，只有一个臭氧分子的原子进入氧化过程；另两个作为一个氧气释放出来。

    根据国外文献报导认为，靠臭氧分解所产生的新生氧的氧化能力，破坏微生物 DNA 或 RNA ，也可作用于细胞膜，穿破胞壁进入细胞壁内，作用于外壳脂蛋白和内面的脂多糖，使细胞的通透性发生改变，**后导致细胞溶解而死亡。