PECVD 气相沉积系

商家:
苏州诺威特测控科技有限公司
认证:
普通商家
参考价:
1000.00元/台
地区:
江苏 - 苏州
类别:
机械 - 其它 - 重型挂车
品牌:
日本Hirayama  
产地:
德国  
型号:
PECVD  
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产品描述

 更新于 2014-04-17 13:41:31 查看商家信息

 

德国SENTECH公司 PECVD 气相沉积系统-----上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州

 SENTECH仪器(德国)有限公司研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)、光伏测量仪器(在线和离线测量工具)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统)。
    仪器广泛应用于微电子、光电、纳米技术、LED、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、等研发领域。

 NOVTEC寓意“科技创新”,即诺威特测控科技有限公司,在德国、日本设有代表处,多年来致力于将世界**品牌的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户,并为客户提供完善的售后服务,协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利,专业从事工业测量与测试产品的销售与研发,拥有产品研发中心、研究院和生产工厂,技术力量雄厚。

  

 产品简介

SI500D突出优点是采用平板三螺旋天线PTSA电感耦合等离子体ICP源和背部有氧气冷却系统的下电极,**大样片直径8吋。ICPECVD感应耦合等离子增强化学气相沉积系统SI500D满足高端工艺要求,适用于器材的生产和研发应用。SI500D在基于硅烷的沉积工艺中具有出色的性能。

SI500PPD是标准的PECVD系统,配置带干泵的预真空室,真空反应腔配置罗茨泵涡轮分子泵。
    Depolad200是经济型的PECVD系统,具有模块化设计、工艺灵活和操作简便的特点,样片直接放置。刻逐步进行真空系统、供气系统的升级,以满足更高的工艺要求。

 

型号

SI500D

 ICPECVD沉积系统

室温~350℃

 

SI500PPD 

 PECVD沉积系统 

带预真空室 

200℃~350℃

Depolab200 

PECVD沉积系统

不带预真空室

 200℃~400℃

具体型号及技术要求欢迎来电咨询。

联系方式:

诺威特测控科技有限公司

Add:中国苏州市高新技术开发区金枫南路198号

联系人:夏雨先生 

Tel:0512-66581379/13912618571

Fax:0512-68702009

E-mail:info@novtec.hk 

http//www.novtec.hk

 

以上是PECVD 气相沉积系 的详细介绍,包括PECVD 气相沉积系 的厂家、价格、型号、图片、产地、品牌等信息!
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夏雨
联系电话
0512-6****** 点击查看
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中国苏州市高新技术开发区金枫南路198号
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