德国SENTECH公司 PECVD 气相沉积系统-----上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州
SENTECH仪器(德国)有限公司研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)、光伏测量仪器(在线和离线测量工具)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统)。
仪器广泛应用于微电子、光电、纳米技术、LED、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、等研发领域。
NOVTEC寓意“科技创新”,即诺威特测控科技有限公司,在德国、日本设有代表处,多年来致力于将世界**品牌的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户,并为客户提供完善的售后服务,协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利,专业从事工业测量与测试产品的销售与研发,拥有产品研发中心、研究院和生产工厂,技术力量雄厚。
产品简介
SI500D突出优点是采用平板三螺旋天线PTSA电感耦合等离子体ICP源和背部有氧气冷却系统的下电极,**大样片直径8吋。ICPECVD感应耦合等离子增强化学气相沉积系统SI500D满足高端工艺要求,适用于器材的生产和研发应用。SI500D在基于硅烷的沉积工艺中具有出色的性能。
SI500PPD是标准的PECVD系统,配置带干泵的预真空室,真空反应腔配置罗茨泵和涡轮分子泵。
Depolad200是经济型的PECVD系统,具有模块化设计、工艺灵活和操作简便的特点,样片直接放置。刻逐步进行真空系统、供气系统的升级,以满足更高的工艺要求。
型号
SI500D |
ICPECVD沉积系统 |
室温~350℃ |
|
SI500PPD |
PECVD沉积系统 |
带预真空室 |
200℃~350℃ |
Depolab200 |
PECVD沉积系统 |
不带预真空室 |
200℃~400℃ |
具体型号及技术要求欢迎来电咨询。
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