用微机械加工技术制造的典型产品是硅微型，对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅微型近几年来发展很快，该传感器主要应用于汽

车工业和医疗保健领域。
　　
　 　硅微型的特点是体积小，重量轻，没有活动部件，可靠性高，又能大规模生产该传感器，所以造价低。高可靠性，低成本对于汽

车工业的要求可以说是 非常适合的，因此在汽车工业中迅速扩展了它的应用领域。如自动刹车系统的压车面压力，轮胎压力，气囊压

力，传动系统流体压力，注入系统流体压力，注入燃料 压力，发动机机油压力。进气管道压力都有硅微型额用武之地。
　　
　　LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微机械加工技术开发了一种能直接埋入轮胎的。它能在汽车轮胎压力很低或轮胎在跑气时向司机报

警。全世界汽车每年的生产量高达几千万辆，因此这是一个极有前途的市场。
　　
　 　硅微型在医疗保健领域里的**大应用产品是血压监视器。据称一些大的医疗机械制造上每年要使用近500万只。此外，如妇女难

产时监控 子宫压力用的硅微型，静脉注射监控药液流动的传感器等都是有相当数量的市场需求。其他许多医疗保健方面的应用也正在

不断开发中。
　　
　 　硅微型基本上分成两类：电容式和压阻式。电容式的包括一个薄膜，它作为可变空气电容器的一个极板，当薄膜上承受压力时，

薄膜产生位 移，从而改变电容值，利用这种变化经过相应的电路处理，就可得到压力值。压阻式传感器使用硅材料承受压力时会产生

电阻变化的原理制成，一般将4个硅材料的 应变电阻构成惠斯通电桥来测量压力。

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