大连索尼卡公司一直致力于流量测量的研究,本款热式气体质量流量计用于精确的测量气体的流量,具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽,热式气体质量流量计可以在真空或高压气路中工作,大流量分流器不易堵塞等特点。
质量流量计(FFM)/质量流量控制器(FFC)用于精密地测量或控制气体的质量流量,
热式气体质量流量计的流量传感器是热式质量流量传感器。
热式气体质量流量计由传感器、分流器、主通道及电路板等部分组成,用于测量流量;MFC除了具有与MFM类似的各部件之外,还有一个控制阀门及PID控制电路,它不但能测量流量,还能控制流量。