HT - 1 0 3系列溅射薄膜压力变送器核心部件采用英国圣斯特公司( S e n s t r o n i c s )的离子束溅射薄膜压力敏感芯体,使用本公司的离子束焊接技术,将O E M溅射薄膜压力敏感芯体与不锈钢外壳焊接为一体。溅射薄膜敏感芯片上的惠斯登电桥以分子形式直接淀积在不锈钢弹性体上,形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料 薄膜,并与弹性不锈钢膜片融合为一体。再经过光刻、调阻,温度补偿等工序,在弹性不锈钢膜片表面上形成牢固而稳定的惠斯登电桥。该溅射薄膜压力变送器设计简洁、精度高、体积小。经过本公司高可靠性的放大电路和精细的外部补偿,可实现对压力数据的准确测量。
主要性能指标:
量程范围 |
0~300MPa |
压力方式 |
表压 |
供电电源 |
12VDC~36VDC (标准为24 VDC) |
输出信号 |
4~20mA、1~5 V、0~5 V、0~1 0 V |
精度等级 |
±0.5%FS、±0.2%FS、±0.1%FS |
温度漂移 |
0.01%FS/℃ |
零点漂移 |
0.01%FS/℃ |
长期稳定性 |
0.03%FS/年 |
补偿温度 |
-20~+70℃ |
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