一.SJ6000激光干涉仪功能
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、**高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。
二.SJ6000激光干涉仪原理
中图SJ6000激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
三.SJ6000激光干涉仪性能特点
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
四.SJ6000激光干涉仪软件内置标准
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序号 |
标准号 |
标准名称 |
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1 |
ISO230-2 |
老版国际标准 |
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2 |
ISO230-1997 |
新版国际标准 |
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3 |
ANSI B5.54 |
美国国家标准 |
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4 |
ASME B89.1.12M |
美国机械工程师协会标准 |
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5 |
NMTBA |
美国机床协会标准 |
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6 |
BS 3800 |
英国机床标准 |
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7 |
BS 4656 |
英国三测机标准 |
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8 |
JIS B6330 |
日本国家标准 |
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9 |
GB 17421-2000 |
中国国家标准 |
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10 |
VDI 3441 |
德国机床标准 |
系统性能
? 测量方式：单频
? 稳频精度：0.05ppm
? 动态采集频率：50 kHz
? 预热时间：5-10分钟
? 工作温度范围：0~38℃
? 环境温度范围：0~38℃，环境湿度：0~95%
? 存储温度范围：-20℃~70℃
环境补偿示值误差
? 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
? 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
? 空气湿度传感器：±6% (0-95%)
? 大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
? 测量距离：0-40m
? 测量精度：0.5ppm (0-38℃)
? 测量分辨率：1nm
? 测量**大速度：3m/sec
角度测量
? 轴向量程：0-15m
? 测量范围：±10°
? 测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）
? 测量分辨率：0.1″
平面度测量
? 轴向量程：0-15 m
? 测量范围：±1.5 mm
? 测量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）
? 基板尺寸：50mm、100mm、150mm
测量分辨率：0.1μm
直线度测量
? 轴向量程：0.1-4.0 m
? 测量范围：±3.5 mm
? 测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）
? 测量分辨率：0.01μm
垂直度测量
? 轴向量程：0.1-3.0 m
测量范围：±3.5mm
? 测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）
? 测量分辨率：0.01μm/m
回转轴分度精度测量
? 角度测量范围：0-360°
? 精密转台角度增量：5°
? 精密转台分度精度：±1″
? 精密转台重复性：0.2″
六.SJ6000激光干涉仪配置
线性测量光学镜组：1套（标准配置）
小型线性光学镜组：1套（选配）
小角度测量光学镜组：1套（选配）
直线度测量光学镜组：1套（选配）
垂直度测量光学镜组：1套（选配）
平面度测量辅助附件：1套（选配）
回转轴测量精密转台：1套（选配）
激光频率校准证书：
1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
2）由其它机构出具。
环境补偿单元校准证书：
1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
1）由中国计量院出具；
2）由其它机构出具。
激光干涉仪示意图
Tel：
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