美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21系列数字式质量流量计可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到由于100ms的控制速度，并保持**稳定性，并有超低压降产品可供您选择。

产品特点 ：

● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
● 可选高精度：优于0.5%
● 高量程比 200:1
● 响应时间快 仅需100ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气

技术参数 ：

介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类：内置了98种气体，请参考背面气体兼容表

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从0-0.5SCCM 到 0-3000SLPM（详情请咨询）

量程比：200:1

**大显示流量：102.4%FS

显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ?C / Atm

预热时间：<1s

响应时间：100ms(可调)

标定工况：25?C & 100kPa 绝压、20?C & 100kPa 绝压、0?C & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ?C

工作湿度：0-100%,无冷凝

标准**大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：250mA ～ 750mA

电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝

黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃

防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们