001 ， 002 和 003A 型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统 , 该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。 
001 型， 002 型， 003A 型 质量流量控制阀门技术参数 
流量范围* ：从 0-5SCCM 到 0-500SLPM 
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉） 
**大操作压力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具体请参考表一
安装方向 ：对位置不敏感 
额定工作电压 ： 4-11VDC （**大 24VDC ） 
额定工作电流 ： 150mADC （**大 275 mADC ） 
阀线圈电阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型） 
重 量 ：请参考表一 
结构材质 
主体： 316 不锈钢 
孔： 316 不锈钢 
阀组件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802 
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802 
密封材质（” O ”型环和阀座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton 
003A 型： Buna N ， Viton 
* 注：上述流量范围反映的是氮气标定下产生的**小流量和**大流量，可采用其它介质的流量范围，当操作参数有疑问时为了保证选型，请咨询厂家。