名称(Name)
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真空式等离子处理系统
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型号(Model)
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CRF-VPO-8L-S
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控制系统(Control system)
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PLC+触摸屏
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电源(Power supply)
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380V/AC,50/60Hz,3kw
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中频电源功率(MF Power)
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600W/13.56MHz
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容量(Volume)
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80L(Option)
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层数(Electrode of plies)
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8(Option)
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有效处理面积(Area)
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400(L)*300(W)(Option)
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气体通道(Gas)
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两路工作气体可选: Ar、N2、CF4、O2
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超大处理空间,提升处理产能,采用PLC+触摸屏控制系统,精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数,满足客户的需求。
保养维修成本低,便于客户成本控制。
高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。
真空等离子清洗机
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