随着半导体、电子行业的技术发展,国内外超纯水制备的技术也获得了飞速的发展和广泛的应用,涌现出一大批超纯水处理方面领域的公司企业,。目前国内的超纯水制备行业正处于快速的发展阶段,但是相比国外的发展水平仍有很大的差距。随着国内半导体生产线的普及,超纯水制备设备的需求越来越大,目前国内的现代超纯水水质以电阻率、TOC(总有机碳)、细菌、微粒、DO(溶解氧)、可溶硅、离子和金属杂质等参数来表征,它们对器件影响大。因此,这就需要设计一台能够制备满足指标要求的浸没液超纯水处理系统,以保证光刻机的正常运行。超纯水处理系统是制备超纯水的自动控制系统,在光刻机中它作为浸没控制系统中的子模块,主要负责对超纯水的制备,对超纯水污染物质进行处理,并达到浸没供给液各项指标要求。
超纯水处理系统应用领域
(1)工业制造业
需要超纯水的工业行业主要包括电子、电力、石油化工等。在电子行业中,半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、微电子行业、大规模及超大规模集成电路需要用大量的超纯水清洗成品和半成品。在电力生产中,发电系统的发电循环效率取决于系统中水蒸气的温度和压力,且纳、氯化物或二氧化硅等污染物易引起涡轮机叶片的腐蚀和污染。在石油化工行业中,高纯水主要应用于油田注入水、化工反应冷却水、化学药剂、化肥及精细加工、化妆品制造、电镀行业清洗水、电池行业溶剂用水。
(2)消费品行业
超纯水主要应用在食品及制药行业。随着环境污染的加剧和人们对健康要求的不断提高,食品、饮料行业用水的水质要求也随之提高,高纯水在食品饮料行业得到越来越广泛的应用,如饮用纯净水、饮料、酒类等生产用水、饮料的无菌灌装、原材料的运输与清洗、工作场所和设备的高压清洗等。
医药在人们的生活中起着至关重要的作用,医疗用水水质的好坏直接影响着治疗水平,关系到病人的生命安全。早在1990年我国出版的《中华人民共和国药典》二部便规定了医用蒸馏水、注射用水和无菌注射用水等三种医药用水的要求,规定了十一项指标:PH、氯化物、硝酸盐和亚硝酸盐、硫酸盐、钙盐、氮、二氧化碳、易氧化物质、不挥发物质、重金属及热源。可见超纯水在医药行业的重要性。
(3)实验室用水
在生命科学的基础研究和医药工程以及医院的临床、制药、生理、生化、化学、物理的各个领域都直接或间接需要使用超纯水,细胞或组织培养、试管婴儿、医院化验分析、各种针剂和药剂的配制稀释用水。
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