单极性大功率脉冲偏压电源是在直流偏压电源基础上增加单极性正向脉冲形成电路组合而成,除具有直流偏压电源优点外还具有明显减少工件打火现象,使工作镀层更光洁平整。通过调节脉冲频率和脉冲占空比,可控制成膜温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。根据需要可升级为数字电源,并设有本地/远程控制功能和控制接口。
常见的脉冲电镀电源主要有以下几种类型:
(1)单脉冲电镀电源
输出导通时间和关断时间可调的单向正方波。
一般为中频可调,占空比为0%~100%可调。当占空比为100%时,脉冲电流变成直流电流。
(2)双脉冲电镀电源
即周期换向脉冲电镀电源输出属于双向功能的单个脉冲换向、无关断时间的单个脉冲换向、直流与脉冲换向及属于单向功能的单脉冲和直流、直流叠加脉冲、间断脉冲等波形。
频率和占空比调节范围与单脉冲电镀电源的大致相同。
(3)多脉冲电镀电源
即多组换向脉冲电镀电源,主要循环输出多组脉宽、频率、幅值、换向时间、持续时间等参数各不相同的直流、单向或周期换向脉冲电流。
(4)计算机控制多脉冲电镀电源
在多脉冲电镀电源的基础上增加计算机全自动控制和过程监控,可实现动态画面显示、数据库管理(数据存储、查询、打印等)、系统自动保护、声光报警及信息提示等功
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