| 使用方式 | 固定式 | 额定功率 | 25000 W |
|---|---|---|---|
| 过滤方式 | 负压外滤 | 产品类别 | 立式 |
| 功能 | 真空清扫吸尘 | 额定频率 | 50 |
| 空气流量 | 2100 L/S | 产品噪音 | 78 dB |
| 最大容尘量 | 100 L | 材质 | SPCC |
| 重量 | 890 kg |
半导体车间中央真空清扫系统HS集中清扫设备的主要特点
1.电机全部采用德国西门子品牌，其防护等级达到IEC60034-5标准中IP55防护等级的要求。
2.采用日本进口东丽‘TORAY’聚酯纤维滤纸基材，表面进行PTFE覆膜处理，过滤精度对0.3μm 粒径大小的粉尘过滤精度达99%以上，而且PTFE 覆膜后表面光滑，粉尘及少量水分不易吸附。
3.标配PLC变频控制柜，电控元件选用施耐德品牌，并且具有缺相、热过载和相序保护功能，可有效保证机器的安全运行。
4.滤筒的清灰方式采用脉冲电磁阀连接螺旋喷嘴脉冲反吹，工作压力为0.4—0.6MPa，连接气源即可使用。
5.机器粉尘收集采用收集袋结构，可以连续拉扯30次以上，使用便捷。
6.滤芯压差实时显示，方便更换滤芯。
半导体车间中央真空清扫系统HS集中清扫设备的工作原理
粉尘通过吸入口捕集进入集尘器后，含尘空气从集尘器的进风均流装置进入过滤室，**碰到进风口中间的扰流板，由于气流断面突然扩大及在扰流板的作用下，气流中一部分粗大颗粒直接沉降至灰斗；粒度细、密度小的尘粒则在气流通过滤筒时被过滤效果高达99%的滤筒过滤，截留在滤筒表面，从而落入灰斗内，净化后的气体进入净气室由集尘器右侧风机室的排风口重新排放到大气中。
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