接热式质量流量计 直接热式质量流量计控制器
AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，AX10FC也同样适用。
AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。
产品应用
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
产品特点
● 直接热式原理，无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 精确测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数
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技术指标
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AX10FC-RC质量流量控制器
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AX10FC-RM质量流量控制器
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量程范围
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小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM
大量程:30SLM～2000SLM
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控制范围
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控制器20：1
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流量计20：1
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准 确 度
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流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃
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线 性
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±0.5%F.S
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重复精度
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±0.2%F.S
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响应时间
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100ms
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10ms
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数 字 量
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RS232/485，MODBUS协议
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模 拟 量
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0～5V、4～20mA、1～5V
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供电
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12V/24V/±15V可选
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工作温度
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0～50℃
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工作压力
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工作压差：0.03～0.5MPa
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工作压降：<0.01Mpa
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**大耐压
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低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
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电气连接
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DB15孔
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漏 率
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1×10-9SccsHe
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温度系数
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±0.015%F.S/℃
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底座材质
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316L
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氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
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接 头
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VCR1/4;swagelokφ6
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