空心阴极离子镀膜机配备多支空心阴极枪,它利用钽管管内辉光放电的空心阴极效应,导致钽管升温至白炽状态强烈发射电子,形成弧光放电,产生高密度的等离子体电子流,引向坩埚使镀料蒸发、汽化、电离(或通过气体反应)在工件上沉积成膜。该设备配有特制工件装夹机构,可实现工件自转,配有PID温度控制器,炉温控制精度为+1℃。
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