透明导电膜(TCO)目前**主要的应用是ITO膜,还有其他AZO,等, ITO 薄膜是一种半导体透明薄膜, 它是氧化铟锡(
indium t in ox ide) 英文名称的缩写。有学者将氧化铟系列( In2O 22SnO 2) 也称之为ITO
薄膜。作为透明导电电极, 要求ITO 薄膜有良好的透明性和导电性。所以, 此类材料的禁带宽度E g 一般都大于3 eV ,
其掺杂组分要偏离化学计量比。ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解
喷涂等,
但使用**多的是反应磁控溅射法[ 1, 2 ]。与其它透明导电薄膜相比, ITO
薄膜具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。 我们发现经过铯化处理的ITO 薄膜具有光电发射效应。其光电发射稳定,
有1. 71 ua/lm 的积分灵敏度, 寿命达千小时以上。这种ITO
薄膜的光电发射对于研制大面积的光
电器件、平板
显示器件会有较大的促进作用。
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