AGC-MX半自动切换装置,EP级,适用于高纯气体、超高纯气体,亦可适用于腐蚀性毒性气体,(配合强排风气瓶柜使用),常用于半导体、太阳能光伏等特种行业。
产品特点:
安装在墙壁或气瓶柜
供气系统自动切换
EP级(标准品)
隔膜阀和单向阀选装(订购时需说明)
外漏率:1×10-11Pa.M3/Sec.He
Feature highlight:
Mount the wall or cabinet with the panel.
Gas supply AUTO exchange from main to spare source
EP grade (standard)
With purge port valve
Outlet leakage: 1×10-11Pa.M3/Sec.He
Tel: