涡旋泵双绕式DIS及单绕式DISL 系列：DIS90/251/501 DISL101/502
高真空，**大能达1PA左右，抽速从90---600L/min 不等，主要用于分析设备，气体回收系统，涂料设备，TMP前级泵，氦检漏仪，半导体制造工艺
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