| 规格 | comax | 名称 | LED减薄砂轮 |
|---|---|---|---|
| 材质 | 金刚石 | 适用范围 | 多款供应 |
产品特点
在半导体元器件的前段加工中，晶圆基板的减薄研磨需要用各种各样的钻石砂轮，常用的LED基板有砷化镓和人造蓝宝石（单晶氧化铝），在对这两种减薄研磨中，必须保证基板的平行度，同时整个晶圆不得有任何细微的裂纹，这就对所使用的钻石砂轮提出了很高的要求。
技术参数
|
结合剂Bond |
形状 Shape |
D（mm） |
W（mm） |
X（mm） |
H(mm) |
粒度 Grit Size |
用途 Application |
|
陶瓷 Vitrified |
6A2 |
150 |
3-10 |
5-10 |
M12*1.75 |
D300-3000 |
蓝宝石/砷化镓 sapphire&GaAs |
|
Metal |
6A9S |
254 |
4 |
8+1 |
155 |
D300-3000 |
硅晶圆回收 recycling of wafers |
|
6A9S |
254 |
3-4 |
10+2 |
155 |
D300-400 |
蓝宝石 Sapphire |
|
结合剂Bond |
形状 Shape |
D（mm） |
X（mm） |
U（mm） |
L(mm) |
H(mm) |
粒度 Grit Size |
用途 Application |
|
树脂 resin |
6A9 |
150 |
3 |
8 |
20 |
M12 |
D400-2000 |
GaAs |
Tel：
￥面议
￥面议
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Tel：
￥面议
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