应用领域
应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。
技术参数
1．工位接口数量：6-20工位。
2．极限真空度：抽排的工件极限真空度10-8Pa；
3．无油污染：采用无油机械泵与分子泵，避免油蒸汽对工作环境的污染；
4. 烘烤：烘箱加热，烘烤温度可达到200℃且具有温度显示和可调功能；
5. 工位处配置充N2接口，使在卸下工件时能够充入N2保护；
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