技术参数
1．极限真空压力：8×10-5 Pa
2．磁控靶直径(mm)：50
3．恢复真空抽气时间（min）：<20
4．左热蒸发室：Φ500×400
5．右电子枪、磁控溅射室：Φ500×500，手动气弹簧上开盖
6．坩埚容积：40ml
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