★ZZS系列箱式
真空镀膜机产品如下(按真空室内腔直径) ZZS550 ZZS630 ZZS660 ZZS700 ZZS800
ZZS900 ZZS1000 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1500 (除以上规格外,可按用户需要提供其它规格
镀膜机)。
极限真空度:3×10-4Pa 恢复真空度:4×10-3Pa≤15min 真空系统:扩散泵+
机械泵 烘烤温度:350℃可控可调
蒸发源:电阻蒸发/电子束蒸发 膜厚监控:光学监控/
石英晶体监控(选配) 多种结构形式工件盘(有球面、平面、扇形、行星式工件盘供选择)
★可根据
镀膜工艺需要增配特殊装置(如:充气系统、离子源、冷水系统、电子枪类型、电控方式等)。 ★结构特点 箱式结构 模块化设计
冷水、热水切换 蒸发室有多个备用孔,方便改装 易操作,易维修
以上是现代南光真空设备—箱式真空镀膜机的详细介绍,包括现代南光真空设备—箱式真空镀膜机的厂家、价格、型号、图片、产地、品牌等信息!