★ZZS系列箱式
真空镀膜机产品如下（按真空室内腔直径） ZZS550 ZZS630 ZZS660 ZZS700 ZZS800
ZZS900 ZZS1000 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1500 （除以上规格外，可按用户需要提供其它规格
镀膜机）。
极限真空度：3×10-4Pa 恢复真空度：4×10-3Pa≤15min 真空系统：扩散泵+
机械泵 烘烤温度：350℃可控可调
蒸发源：电阻蒸发/电子束蒸发 膜厚监控：光学监控/
石英晶体监控（选配） 多种结构形式工件盘（有球面、平面、扇形、行星式工件盘供选择）
★可根据
镀膜工艺需要增配特殊装置（如：充气系统、离子源、冷水系统、电子枪类型、电控方式等）。 ★结构特点 箱式结构 模块化设计
冷水、热水切换 蒸发室有多个备用孔，方便改装 易操作，易维修
