1、主要应用于LCD、LED、连接器、键合前等大规模生产领域。
2、所有元器件及核心部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。
3.真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，无需水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。
4.自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录，适合维护，可以提供工艺参考。
5.可存储50组工艺配方，随意调用。
6.清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。
7.工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。
8.一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。
9.自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。
10.气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～200sccm可在量 程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。
11.根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等,电极结构（专利申请中）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。中型等离子处理机主要技术数据及规格
标准型号
技术配置
QT-48-PSP
QT-80-PSP
QT-120-PSP
外形尺寸（WHD）
900mm×1500mm×1000mm
900mm×1500mm×1000mm
900mm×1600mm×1000mm
反应仓尺寸
W400mm×H300mm×D400mm
W450mm×H400mm×D450mm
W450mm×H600mm×D450mm
真空腔体材质
不锈钢加铝内衬
电极板有效面积
320mm×280mm×4
360mm×340mm×5
360mm×340mm×6
等离子电源
美国进口
美国进口
美国进口
电源功率
0～600W
0～600W
0～1000W
电源频率
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz/40kHz
极限真空度
2 Pa
2 Pa
3Pa
PLC控制系统
西门子PLC 模拟量控制实现所有信号数据集成
人机界面
5.7英寸触摸屏
7.1英寸触摸屏
10.4英寸触摸屏
MFC
美国进口质量流量计（MFC）控制精度达1sccm
工艺气体流量
0～100sccm
0～200sccm
0～200sccm
日本进口、超长时间低温工作
工作压强
10-130Pa
不锈钢气体管路
内外高精度抛光，气阻小，流量可高达100L/min。
单次处理时间
10-15分钟
真空泵系统
德国
德国
德国/日本
参数功能
配方控制，处理时间、射频功率、气体流量设定可调
所需环境配置
电：AC380V/50Hz 3P，5W RE
15 A
20 A
供气管路
0.2至0.6MPa，管径φ6
环境
**高28℃良好换气通风
湿度
30%～85%
选配功能
腔体及电极
可据客户要求设计
电源功率
500-2000w之间选配
质量流量计
流量量程及路数可增减
干泵
可据客户要求配置
尾气处理器
可选配
过滤返油装置
可选配
油泵低液位报警
可选配
