1.主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。

2.特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。

3.控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。

4.电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。

5.射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）

6.浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。

7.清洗完成有提示音

8.反射功率过大报警

10.泵热过载报警

11.反应仓泄漏报警

12.电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。

13.反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。

14.真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。

15.真空泵可选配液位低报警装置

小型等离子清洗机主要技术数据及规格：

 标准型号

技术配置

 QT-12-PSP-

 QT-24-PSP

 QT-36-PSP

外形尺寸

 W700mm×H900mm×D600mm

 W700mm×H900mm×D600mm

 W700mm×H900mm×D650mm

反应仓

 W250mm×H200mm×D300mm

 W300mm×H250mm×D320mm

 W340mm×H305mm×D350mm

真空腔体材质

 不锈钢加铝内衬

电极板有效面积

 140mm×200mm×4

 240mm×220mm×5

 280mm×260mm×6

电源功率

 0～300W

 0～300W

 0～600W

电源频率

 13.56MHz

 13.56MHz

 13.56MHz/40kHz

洁净真空度

 15Pa

 15 Pa

 1 0Pa

控制系统

 半自动控制/全自动控制，继电器加定时器控制体系

单次处理时间

 8-15分钟

气体控制

 2路精密气体流量计＋针阀＋高抛光不锈钢管路

流量精度

 ＋2sccm

工作压强

 10-90Pa

真空泵系统

 德国/国产

 德国/国产

 德国/日本/国产

参数控制

 处理时间、射频功率、气体流量可调

所需环境配置

供电环境

 AC220V/50Hz8A ＋ 独立PE线

供气管路

 0.2至0.6MPa，管径φ6

环境**高35℃良好换气通风

湿度