PPC等离子
清洗机又称等离子表面处理仪，等离子
清洗器、等离子清洗仪、电浆清洗机，
PPC等离子清洗/
蚀刻系统是一台台式微波等离子
清洗机设备。PPC等离子清洗机系统融合了下面的特点，并在众多的应用领域中得到肯定：
特点：
应用：
价格合理
打线垫清洗
高功率
清洗Pd-Ag裸芯片垫
负载循环控制
环氧溢出物去除
模拟功率控制
去除光刻胶
工作功率 2.45 GHz
清洗光学部件
减少污水排放
清洗半导体表面
安全保护设计
塑胶密封剂去除--失效模式分析
塑料表面上胶处理
操作简便
清洗镀银部件
维护方便
减少金属氧化物
性能稳定
去除油渍或是环氧残留物
*专利保护 #典型的台式微波等离子清洗/蚀刻机
PPC 等离子清洗/蚀刻系统技术参数：
PPC等离子清洗/蚀刻系统有三款不同机型. **款是圆筒型反应舱系统。第二款是水冷式设备，反应舱尺寸为8”（L） x
6”（W） x
2”（H）。第三款是一台大型水冷式设备，反应舱尺寸扩展至9” （L） x
7” （W） x 3”
（H）。这三款设备的技术参数描述如下：
圆筒型反应舱系统 PLASMA-PREEN I
反应舱：
圆筒形
反应舱口径：
4.1”
反应舱深：
6.0”
反应舱材质： 派热克斯玻璃
（可选配石英玻璃）
水冷式系统
PLASMA-PREEN II
Model No. ：
862
973
反应舱：
方形
方形
尺寸：
8”（L） x 6”（W） x
2”（H）
9” （L） x 7” （W） x 3”
（H）
冷却面：
8” x
6”
9” x 7” side
反应舱材质： 派热克斯玻璃
&
铝材
派热克斯玻璃 & 铝材
外部尺寸：
28” （W） x 12” （H） x
13”（D） 28” （W）x
12” x 13” （D）
装运重量： 65
pounds（约29.5公斤）
80 pounds（约38.5公斤）
电源：
220V ac
50Hz
220V ac 50Hz
等离子体功率： 100 Watts 至 750
Watts 之间调节
频率：
2.45 Ghz
负载比：
10%至连续性
标准流量： 5
cu-ft./Hr. @ STP
附件：
真空泵及水冷却装置
处理气体：
大气、氧气、氩气等
PPC等离子清洗/蚀刻系统推荐应用于：
混合电路板制造中基片的清洗
打线工艺前清洗电子部件，提供其可靠性
锡焊或焊接工艺前，关键性镀金部件的清洗
清洗半导体
去胶
上胶、印刷和其它表面浸湿操作的表面准备
镀膜前对光学器件清洗
清洗石英、蓝宝石及其它材料
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