等离子体处理可应用于所有的基材。甚至复杂的几何构形可以进行等离子体活化、等离子体清洗,等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低,因此,低压等离子体也能处理敏感性材料。此款等离子清洗机内部尺寸约为50升,等离子清洗机内部设置有一个容量约为22升的转鼓,
技术数据:
内部工作尺寸(约)
内部尺寸 工作体积
宽度:400mm 宽度:350mm
深度:400mm 深度:350mm
高度:400mm 高度:350mm
舱容量:64升 舱容量:42升
等离子发生器:Advanced Energy PE-1000
频率:44 kHz
**大功率1250瓦
0至1250瓦可调(通过软件调节)
温度可调
气源:两路气体通道,流量控制器
型号:V?gtlin red-y smart
可另加两路气体通道(选配)
通过“sccm”监测流量
非腐蚀性气体设置*
单个通气通道
门开关激活后,处理工艺才可以启动。
自动真空“吸入”功能
连接负载介质的供应:
总装机容量约5千瓦负荷
供电400V/16A
废气管40毫米
天然气供应0.5巴初始压力
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