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产品信息

真空等离子清洗机

商家:
招远普斯玛等离子技术有限公司
认证:
普通商家
参考价:
面议
地区:
山东 - 烟台
类别:
机械 - 清洗设备 - 清洁机械 - 翻新机
品牌:
戈德尔  
产地:
 
型号:
 
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产品描述

 更新于 2012-06-24 14:39:07 查看商家信息

◆ 外形尺寸

570(W)×420(D)×740(H)mm

  ◆ 仓体结构(不锈钢，约20升)

420(W)×270(D)×170(H)mm

  ◆ 电极面积

 250(W) ×190(D) mm,3层  

◆ 清洗模式

RIE or DP模式自动转换

 ◆ 等离子发生器(韩国KM)

 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

  ◆ 控制系统

 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界**品牌电器元件，

性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统 德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

  ◆ 压力控制

 PID闭环自动稳压控制 ◆ 气路系统

  2路工艺气体+1路氮气配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

以上是真空等离子清洗机的详细介绍，包括真空等离子清洗机的厂家、价格、型号、图片、产地、品牌等信息!
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