◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 仓体结构(石英,约20升)
Φ 245mm×400Lmm
◆ 等离子发生器(德国)
频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界**品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
英国爱德华斡旋式干泵 GV40
美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
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