◆ 外形尺寸(不包括报警灯)  
  1650(W)×1750(D)×2450(H)mm  
 ◆ 仓体结构(不锈钢，约1200升)  
  1003(W)×1270(D)×915(H)mm  
 ◆ 电极面积 (水冷垂直电极)
  1117.6(D)×609.6(H)mm ，13层 
 ◆ 等离子发生器(美国AE)  
  频率40KHZ,功率0-10KW连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作 
 ◆ 控制系统  
  触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界**品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式  
 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)  
  英国爱德华(ULVAC)爪式干泵   GV160 (160m³/h) 
  英国爱德华罗茨泵    EH1000(280L/S)  
  台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器 
 ◆ 充气系统  
  美国MKS高精度电子质量流量计(五路气体配制)
  美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀  
  日本SMC及CKD高真空气阀组件