机型\项目 |
TG5 |
TG6-9 |
|
镀膜室规格 |
?700mm -800mm *800mm -880mm |
?900mm -1000mm *1000mm -1200mm |
|
极限真空度 |
≤7.6×10-4Pa |
||
冷态抽真空时间 |
从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟 |
||
机组配置 |
KT-400扩散泵机组 |
KT-400扩散泵机组 或KT-500扩散泵机组 |
KT-600扩散泵机组 |
靶配置 |
5个电弧靶1个磁控靶 |
6-9个电弧靶2个磁控靶 |
2个大面积弧靶2对孪生靶 |
配电要求 |
40KW |
50KW |
60KW |
备注 |
可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备 |
Tel:
Tel:
Tel:
Tel: